DELO&天仁微纳研讨会纳米压印光刻：高折射率聚合物促成AR衍射光波导的大规模生产-聚展

2023年9月6-8日，青岛天仁微纳科技有限责任公司将亮相第24届中国国际光电博览会，诚挚邀请您莅临精密光学展&摄像头技术及应用展5号馆5A39展位参观、交流及业务洽谈。

随着增强现实（AR）眼镜的应用场景逐渐增多，AR眼镜的佩戴舒适性和功能要求也越来越高。在众多AR光波导方案中，表面浮雕光栅（SRG）可以将镜片做到最轻薄，而且有成熟的量产工艺。表面浮雕光栅的原理是在玻璃片上制作一层纳米级的光栅结构，用来实现所需的光波导效果。如果使用光刻刻蚀或者机加工的方法来加工这些纳米级光栅，成本高，耗时长。纳米压印光刻是唯一可以实现低成本，高效率量产的加工技术。

青岛天仁微纳科技有限责任公司（Germanlitho）是专业的纳米压印光刻设备和解决方案提供商，致力于拓展纳米压印光刻技术在创新产品领域的应用，为客户提供纳米压印光刻整体解决方案，助力客户实现创新技术到产品的转化。

AR衍射光波导的加工对于纳米压印光刻设备和压印材料要求很高，因此，天仁微纳与DELO公司针对光波导量产方案进行了深入研究。在天仁微纳自主研发的GL300 Cluster全自动纳米压印光刻生产线上，通过使用DELO紫外固化高折射率纳米压印胶材料，实现了300mm直径晶圆级衍射光波导纳米光栅结构的压印过程，结构填充完整，且压印过程具有可重复性和均匀性，这一合作成功验证了大规模生产光波导的可能性。

天仁微纳受DELO邀请，于3月23日，一起登录直播研讨会，展开技术探讨。

时间：3月23日，15:30

地点：DELO直播课堂

本期研讨会主题：

-可用于纳米压印光刻技术（NIL)的设备有哪些？

-AR衍射光波导的母版和拼版是如何工作的？

-AR衍射光波导制造的挑战有哪些？

-用于纳米压印的高折射率聚合物具有哪些特性？

-在300mm晶圆上大规模生产AR衍射光波导的前景如何？

-用于生产AR衍射光波导的其他聚合物方案有哪些？

演讲嘉宾：

冀然博士，天仁微纳董事长

Stephan Prinz 博士，DELO 产品经理

主持人：

陈永乐，DELO产品经理

参会方式：扫描下方二维码，报名本次直播

CIOE精密光学展&摄像头技术及应用展是亚太地区极具影响力的光学行业专业展览会，展会完整展示光学元件及材料、镜头及模组、镀膜、机器视觉、AR&VR、光学测量等光学全产业链板块的新产品、新技术、新趋势及新应用，并着力为光学上中游生产企业及下游终端光学应用企业搭建集品牌展示、商贸洽谈、高效维护及开拓客户关系为一体的专业交流平台。

参展咨询：

电话：+86-755-86290901

网站：www.cioe.cn

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