PART 01,活动背景泛半导体产业是国家战略性新兴产业核心支柱，涵盖集成电路、显示面板、先进封装、半导体显示、Mini/Micro LED、光伏储能、车载半导体等关键领域，是数字经济与新型工业化的重要底座。我国泛半导体企业，如BOE（京东方）、TCL华星、HKC惠科、中芯国际、长电科技、维信诺、天马微电子、和辉光电、 龙腾光电等，在高速发展的同时，普遍面临工艺废气复杂、治理难度大、低碳与安全双重约束、环保合规趋严、ESG评价升级、绿色工厂建设迫在眉睫等多重挑战。
泛半导体制造工序长、化学品使用种类多，在光刻、刻蚀、薄膜、沉积、扩散、离子注入、清洗、显影、蒸镀、封装、测试等环节产生大量污染物：包括以IPA、PGMEA、NMP、醇类、酯类为主的VOCs废气；HF、HCl、HNO₃、H₃PO₄、NH₃、TMAH等酸性/碱性/氨类废气；以及硅烷、磷烷、砷烷、硼烷、NF₃、CF₄、SF₆、全氟烃类等高毒、易燃易爆、强温室效应特种废气。这类废气具有组分复杂、浓度波动大、含氟含氯含硫难降解、恶臭突出、安全风险高、碳排放强度大等特点，已成为园区投诉、环保督察、清洁生产、绿色工厂评价的重点管控对象，且随着《生态环境法典》全面施行、 “十五五” 大气污染防治深化、双碳战略持续推进，叠加ESG披露、绿色工厂认证、碳足迹核算、节能降碳、本质安全、供应链环保合规要求不断升级，泛半导体行业已进入 “废气治理+节能降耗+低碳减排+ESG 管理+绿色智造” 协同发展新阶段。
传统治理模式日益暴露出能耗高、碳排放高、防爆风险大、氟氯体系易产生二噁英、特种气体难以降解、溶剂资源化利用率低、运维成本高、绿色低碳与ESG体系不健全等痛点。为精准对接泛半导体产业绿色高质量发展需求，落实国家VOCs综合治理、节能减排、低碳发展与ESG可持续发展要求，在上海市环境保护产业协会的大力支持及指导下，由VOCs减排工作站、DIC EXPO国际(上海)显示技术及应用创新展联合主办2026泛半导体行业废气节能减排与绿色低碳发展论坛，聚焦废气深度治理、源头减量、资源化回收、节能降碳、低碳安全、智能运维、绿色工厂、ESG合规、环保合规咨询九大方向，搭建政策解读、技术创新、管理提升、供需对接、案例共享平台，助力泛半导体企业实现环保合规、低碳降本、节能增效、本质安全、ESG升级、绿色高质量发展。
PART 02,论坛信息论坛时间：2026年8月26日下午
论坛地点：上海新国际博览中心
主办单位：
VOCs减排工作站
DIC EXPO国际(上海)显示技术及应用创新展
承办单位：
VOCs减排工作站
上海励程展览有限公司
协办单位：
大气污染防治专业委员会
支持单位：
中国光学光电子行业协会液晶分会(CODA)
全国循环经济技术中心
中国化工学会过滤与分离专业委员会
指导单位：
上海市环境保护产业协会
官方媒体：
VOCs减排工作站、上海市环境保护产业协会
PART 03,拟交流内容
（一）政策标准与合规管控 “十五五”泛半导体（集成电路/显示/先进封装）VOC与特种废气管控政策趋势 绿色工厂、零碳工厂、节能降碳、清洁生产评价标准与申报要点ESG体系建设、环境信息披露、供应链环保合规、碳足迹核算实务 泛半导体行业环保合规、排污许可、隐患排查、守法证明与环保合规咨询路径
（二）产废特征与源头减排 高溶剂消耗工序（光刻/涂胶/显影/清洗/剥离）源头减VOCs路径 绿色溶剂、低VOCs耗材、闭路循环、余热回收在泛半导体行业应用 厂界异味快速监测、溯源分析、网格化管控、预警预报技术
（三）VOCs治理与溶剂资源化回收NMP、IPA、PGMEA等高价值溶剂高效回收、提纯、循环回用技术 高浓度/低浓度/间歇式VOCs分质收集、分质治理、节能优化 冷凝、吸附、膜分离、吸收再生在泛半导体行业工程案例
（四）酸性/碱性/特种/氟氮废气协同治理 含氟、含氯、硝酸、磷酸等酸性废气多级洗涤与深度净化 硅烷、磷烷、砷烷、硼烷等自燃/有毒气体无害化处理
（五）低碳安全与焚烧设施优化升级RTO/CO/VCU在泛半导体行业防爆设计、LEL联锁、安全运行及焚烧系统余热回收、低碳运维 含氯/含氟废气二噁英抑制、脱硝、脱氟、尾气深度净化 治理设施本质安全：阻火、泄爆、紧急切断等产品及设计
（六）创新技术与标杆案例 常温臭氧催化、高效撞击流洗涤氧化等在泛半导体异味治理应用 泛半导体绿色工厂建设：节能、节水、节材、降耗、减碳一体方案ESG在泛半导体企业落地：环境管理、社会责任、公司治理、供应链环保 环保咨询服务：合规诊断、碳管理、节能诊断、固废减量、废水废气协同治理。
PART 04,参会对象
1、生态环境部门、园区管委会、科研院所、高校专家学者；
2、泛半导体企业：集成电路、显示面板、半导体、先进封装、光伏、车载半导体等企业 HSE、环保、设备、工艺负责人；
3、环保治理、废气洗涤、RTO、溶剂回收、除臭、监测、安全防爆技术/设备供应商；
4、环保工程、第三方检测、环境合规及低碳咨询公司、运维服务企业代表。
PART 05,企业服务
主题演讲及展位：
会议将遴选优秀企业报告交流，主题为零碳工厂、企业ESG、废气治理、节能安全主题等；
为搭建供需交流的平台，会议将设置展位；
产品信息发布及实物赞助请联系大会组委会商洽。