展商精选丨华易泰，致力于显示面板、半导体等行业工艺设备本土化

② 自主研发新型Fork专利技术，自动校对卡匣位置；

③ BCR+磁栅尺机械结构，精确确认Crane位置信息；

④ Arm采用双驱动+非动力传动方式，空间小、精度高；

⑤ CPS非接触式电源供电，效率高、寿命长、灵活度高。

② 物料抓取防晃动设计，准确定位并抓取物料，稳定性高；

③ CPS非接触式电源供电，效率高、寿命长、灵活度高；

④ BCR实时确认Shuttle位置信息，实现与CIM的实时通信；

⑤ 采用安全触边传感器，缓冲器，镭射传感器等防护措施，调整穿梭速度，防止碰撞。

② 水平传送、倾斜传送、90°转角传送等多种传送方式可选；

③ 搭配AP Plasma/EUV，素玻璃接触角<5°，进行有机物清洁；

④ 厂务纯水直供和设备循环供给相结合，纯水用量低、效率高；

⑤ 使用毛刷、二流体喷淋、超声波清洗等清洗方式，实现＜3μm的颗粒去除。

② 多角度摇摆喷淋方式，蚀刻均匀性高、药液利用率高；

③ 搭配EMS药液分析系统，实时在线精准把控药液成分；

④ 触摸屏+PLC控制安全保护，具有液位保护、漏液漏电保护等；

⑤ 稳定高速的药液置换供给系统，实现不停机药液供给的置换，产能高、药液利用率高。

② Drum区域配置HEPA，保证在更换酸桶时维持正压；

③ Drum及Tank氮封设计，防止空气接触至化学品造成污染；

④ 配置手动拨钮开关，PLC故障时可手动强制供应；

⑤ 主部件N+1配置，稳定性好、效率高。

② 自备循环扰流功能，避免研磨液结晶和沉淀；

③ Drum及Tank氮封设计，防止空气接触至化学品造成污染；

④ 配置手动拨钮开关，PLC故障时可手动强制供应；

⑤ 主部件N+1配置，稳定性好、效率高。