隐冠半导体邀您共赴第11届半导体设备材料与核心部件展示会

上海隐冠半导体技术有限公司 

展位号 A1-T35

隐冠半导体是一家专注于精密运动控制系统研发与生产的高科技创新型企业，公司为精密运动定位及控制提供优越、可靠的解决方案，着力解决半导体装备关键核心部件的产业化问题。公司成立于2019年，现拥有上海、苏州吴江两大基地，打造精密运动台、特种电机、压电产品、驱控产品四大产线，配备先进的精密运动控制测试平台和一批专用工具，能够为高端设备和精密零部件产品研发生产提供良好的生产测试条件。

隐冠让运动简单、精确、稳定、高效。通过多年的技术研发和工艺积累，隐冠已获得“高新技术企业”认证，并自主研发了国内首台倒装式运动台-8英寸硅基膜厚检测运动台、国内首台磁悬浮检测运动平台-12英寸CMP膜厚检测运动台、高推力密度平板音圈电机、水冷电机等产品；技术工艺上实现从压电粉料至压电叠堆到压电致动器的全链条覆盖；可匹配产品需求提供多轴运动的系统级控制方案。产品应用场景广泛，主要包括晶圆检测、激光调节、激光切割、运动控制及补偿算法，高精度测量、显微镜物镜定位、多轴运动及定位平台等等，隐冠自主研发的多款运动台产品已在各大FAB厂中稳定运行。隐冠的技术与产品亦可拓展运用于智能制造自动化精密仪器、3C电子、PCB等泛半导体设备领域。

“高起点，大跨度，超常规，创精品”。深耕细作，厚积薄发，快速发展的隐冠正以一种蓬勃的姿态向前，立志成为半导体装备零部件领域的隐形冠军企业！

地址：上海市浦东新区金海路1000号金领之都47号楼

网址：www.yg-st.com

产 品 介 绍

堆叠式XYT运动台采用模块化、超薄设计、正交性设计等理念，将机械转台(MRDS-180)标准模组集成在交叉十字XY台模组之上，能实现X、Y和T轴3自由度的高精度、高刚度直线运动。其中，向高精度、高刚度无限制旋转。交叉十字XY台模组MRDS-180采用了扁平的设计思想，能实现T方采用集成式、正交性设计理念，具有紧凑扁平的轮廓尺寸。能实现水平向XN轴2自由度的高精度用，例如薄膜计量、关键尺寸检查等，以及晶圆划高刚度直线运动。可广泛应用于晶圆生产控制应线和晶圆激光退火等。

复合式运动台是二维机械导轨+空气轴承复合式运动平台，可以让客户有效地享用机械导轨与空气轴承导轨各自的优点。机械导轨在XY平面的高冈性能承受较大加速度和提供高双向重复精度。而空气轴承确保全行程优异的动态平面度。

该平台采用模块化、正交性等设计理念，包含隐冠的磁浮垂向与旋转台模块(MZT 和H型二维运动平台(XY)。MZT模块集成在XY台模块之上，能实现X、Y、Z和RZ轴4自由度的高精度、高刚度 直线和旋转运动。MZT模块的垂向采用了独特的大行程磁浮重力补偿技术，降低了垂向电机的载荷，很大程度地提高了垂向运动性能和寿命。XY运动台模块采用驱动质心匹配、柔性龙门以及轻量化设计技术，具有降低对高精度机械导轨的偏质心冲击，提高运动系统的可靠性和寿命的能力，并具有对轻微平移Y1及Y2电机进行偏向修正功能。该平台也可集成在隐冠的主动减振系统之上，进一步提高系统性能。

盘式电机采用扁平化设计，采用无铁芯盘式电机直接驱动负载，配合高精度交叉滚子轴承和高分辨率编码器，全闭环控制可实现高精度行走精度及运动定位精度。可广泛应用于医疗领域、半导体设备、汽车等领域。

惯性一轴平移运动台是基于“粘滞-滑移”驱动逻辑并带有交又滚子直线导轨的驱动装置，结合了毫米级宏观行程和纳米级分辨率以及毫米每秒的速度，结构紧凑、刚性高和直线度高，适用于高稳定性、高精度要求的定位系统。

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