CSEAC 是我国半导体行业权威设备与核心部件展示会,已成功举办十届。十年的坚守,铸就了CSEAC的专业性、品牌影响力与资源召唤力。我们以“高水平、专业化、产业化”为办会宗旨,力争打造国内外半导体行业技术交流、经贸洽谈、市场拓展、产品推广的优质平台。
CSEAC 2023
展 商 风 采
专业厂商,邀您参观
无锡卓瓷科技有限公司
展位号 A3-T243
无锡卓瓷科技有限公司成立于2021年5月13日,主要从事各种精密陶瓷材料的研发、生产、清洗和销售,其产品广泛应用于半导体(集成电路)、平板显示、新能源等领域。主营产品有:氧化铝、氧化锆、氧化钇、氮化铝、导电陶瓷、碳化硅等,其中多种产品已通过国内外知名企业认可并通过终端认证。
卓瓷科技秉承“以人为本,追求卓越,科技创新,创造价值”的经营理念,着眼未来,致力于成为国际知名的中国陶瓷制造商。其核心团队在半导体、平板显示等领域使用的高精密陶瓷制造有着丰富的经验,他们勇于探索、精益求精、追求卓越品质,致力于为客户、行业、社会创造价值;不忘初心,持之以恒,最终为实现中国制造的卓瓷梦。
地址:无锡市锡山区东港镇高巷路8号
电话:0510-88795667
网址:http://www. exceratec.com/
产 品 介 绍
刻蚀系统部件-视窗盖
应用领域:金属刻蚀
材质:低介电损耗氧化铝陶瓷
直径:600mm
表面处理:氧化钇Coating(PVD/APS)、抛光
产品特性:高RF透过率、耐等离子腐蚀、底颗粒污染
刻蚀系统部件-喷嘴
应用领域:金属刻蚀、硅刻蚀
材质:氧化铝或氧化钇陶瓷
产品特性:
1、精确控制气体流量速率
2、喷孔内低颗粒污染
3、高耐腐蚀性
薄膜沉积系统部件-喷嘴
应用领域:CVD制程
材质:氮化铝或氧化铝
1、精确控制气体流量速率
2、喷孔内低颗粒污染
3、高耐腐蚀性
4、卓越抗热振性能
真空吸盘、静电吸盘
应用领域:晶圆检测、晶圆工艺制程
材质:碳化硅、多孔陶瓷、氧化铝
尺寸:6寸、8寸、12寸
超精密尺寸:平面度<500nm,平行度<1μm
CSEAC2023 报名火热进行中,
“特邀买家”报名可享更多参会福利,
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会议
半导体设备年会
集成电路封测
高峰论坛
集成电路制造年会
进群交流
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参考资料:
CSEAC
举办地区:江苏
开闭馆时间:09:00-18:00
举办地址:无锡市太湖新城清舒道88号
展览面积:48000㎡
观众数量:58000
举办周期:1年1届
主办单位:中国电子专用设备工业协会