靖江佳晟真空参展第11届半导体设备材料与核心部件展示会

靖江佳晟真空技术有限公司

展位号 A1-T65

靖江佳晟真空技术有限公司创立于2018年，专注于半导体高性能真空阀门研发的创新型科技企业。在创立之初，佳晟真空与韩国第一真空阀门公司PRESYS深入合作，持续提供赢得客户感谢的产品与服务。近年来，韩国PRESYS派遣最高技术与高品质管理人员常驻中国，加强双方紧密的合作，协助佳晟在中国制造矩形阀，插板阀，角阀，RPC阀，蝶阀与摆阀。基于优秀的创新与工程能力，是佳晟真空提供技术与服务解决方案的原动力。

我们技术团队带着“Need Company”的使命感，提出创造性目标，满怀热情挑战，致力深耕半导体和平板显示的核心领域，并最终实现突破，创造了高真空阀门和控制系统的全新技术。基于这些技术，我们的真空阀门有幸能够匹配快速发展的中国半导体产业。拥有如此多的技术突破，我们有信心成为一家超一流的高真空阀门的中国企业。

我们专注于真空技术创新作为我们的核心竞争力。从一开始，我们就与用户紧密工作在一起，对用户的应用、需求与期望非常了解，这也是我们开发新产品的基石。也是我们技术创新的激情！佳晟真空在北京亦庄北方华创公司联创中心设研发办公室，吸引优秀人才，积极配合客户各种需求。

高效的售后服务是我们的承诺，佳晟真空团队从2018年开始，与中国客户紧密的合作。

佳晟真空产品定制能力表明我们强力聚焦于为客户提供解决方案：

控压阀门、传输阀、ATM door、插板阀、蝶阀、摆阀与角阀解决方案。

我们的优势在于产品可靠性高、交期短与有经验的技术团队。

我们为所有粗真空（Fine Vacuum）到极高真空（Extremely High Vacuum）的用户提供解决方案。

地址：江苏省靖江市经济开发区新兴路9号

网址：www.jiashengvac.com

产 品 介 绍

T真空传输阀用于半导体生产系统大气侧的负载锁定和工艺室隔离。也适用于PV内联系统、蚀刻或CVD等腐蚀性工艺。

T真空传输阀为最大程度地减少粒子的产生和生成，阀板配备了硫化密封件。尽管可选择标准的O型密封圈，但这是一种比标准O型密封圈更可靠、更耐用的密封解决方案。

T真空传输阀的核心设计的关键是在标准温度条件下实现高质量、长时间的不间断生产循环——多达 6 万个循环。

T真空传输阀通过设计最大限度地延长了正常运行时间。其有两个关键的特征：稳定的设计，可在不同的工况条件下可靠地运行，以及较长的维护周期。两者都增加了阀门正常有效的运行时间。

如果需要维护，它可以很容易地与生产系统的维护计划保持一致。如果需要，可以非常快速地对所有移动部件进行维护更换，这意味着维护不会太过耽搁时间。

特点:

1、避免工艺腔室变形

2、在危险气体和高温下稳定运行

3、延长使用寿命

4、高可靠性

5、正常运行时间长，维护成本低

6、稳定、高循环性能

G1真空插板阀专门开发用于提供可靠密封的产品，因其没有任何摩擦，从而避免产生颗粒的情况。

G1系列已经安装在各种工艺条件下的数千种苛刻工作环境中，证明了其出色的可靠性。它已成为压力范围< 10-7 mbar 的真空隔离的标准解决方案。

G1系列具有稳定坚固的设计和简单直接的安装优势，并且由于其拥有分体式的主体而减少维修周期和维护简单，可轻松满足所有标准要求。

驱动、法兰连接或附加真空端口的各种设计选项可以让它轻易的配合集成到任何真空应用中。

G1系列的一个关键特点是在关键位置上消除了由于气动故障而造成真空损失的任何风险。

G1系列有手动和气动两种版本，带电磁阀，可外部安装。电磁阀标准电压为24vdc，可根据要求提供其他电压。阀门位置由机械或电子位置指示器指示。

法兰连接的标准选择是ISO-F和JIS。可以集成客户特定的法兰，以及特殊功能。

标准闸板密封由FKM的O形密封圈提供，并可根据要求提供其他密封材料。

特点:

1、可靠的性能、成熟的设计

2、不含润滑剂

3、机械锁定在关闭位置

4、分体式机身，便于清洗

5、成本低

B1电动控制真空蝶阀有着优秀的压力变化调节能力。在CVD和ALD的过程中，凭借响应时间在0.1s内的运动控制器，成为其精密控制过程的优秀解决方案。B1电动控制真空蝶阀的集成压力控制器会通过软件计算作为节流元件的蝶板的实时位置，通过改变电流来改变蝶板的位置，是出口压力尽快达到设定压力。

B1系列电动控制真空蝶阀是专门为诸如有颗粒存在的气流等恶劣工作环境而设计的。尽管工作环境中有高颗粒的载荷和碎片的堆积，B1系列电动控制真空蝶阀仍然可以保持健康良好的运行。

B1系列已经凭借在各种工艺条件下的数千种苛刻的工况应用中，证明了其出色的可靠性。其凭借强大的设计和简易安装的选项，以及相对较少的修理和易于维护，B1系列在各个方面都令人信服。

阀体材料，表面处理，密封件，法兰连接，特殊尺寸以及特殊控制算法(自适应等)的各种设计选项都简化并且集成到各种真空应用中。

蝶阀可选铝或不锈钢材质，可选有ISO-KF或ISO-F标准的法兰连接。客户可以指定法兰，及特殊功能，如加热器。可根据要求提供各种FFKM/FKM密封件(FKM为标准)。

特点:

1、优秀的压力控制

2、快速的响应时间

3、单独断网的集成软件

4、恶劣工况下的稳定运行

5、相对较低的控制成本

角阀的关键性能指标是可靠性和可变性。Z系列真空角阀将两者结合在一起。该系列设计用于全尺寸结构，用于高污染甚至轻微污染的气体工作环境。到目前为止，已经生产了DN16mm (⅝")~DN320mm(12")的尺寸。

Z系列真空角阀在各种工艺条件下经过数千种苛刻工作环境的测试，证明了其有着出色的可靠性。凭借其在驱动、法兰连接、阀体材料或密封方面的各种设计选项，几乎可以满足客户的要求。

Z系列真空角阀是真空系统泵送和排气的理想选择。它能抵抗高压差，其模块化设计意味着它可以根据各种工艺和操作要求进行调整。Z系列真空角阀专为优秀的稳定性和较长的使用寿命而设计。

基于可靠和坚固的核心设计，Z系列真空角阀为手动、气动的驱动提供了高度真实的设计选项。有多种规格的铝或不锈钢可供选择。

法兰连接的标准选项是 ISO-KF 和 ISO-K。视觉位置指示是标准配置，但可以添加电子指示器作为选件。如果需要，Z系列真空角阀可以通过电磁阀在远处进行控制。Z系列真空角阀可用于不同的温度范围，具体取决于所选的密封圈。阀门可以提供常开（NO）、常闭（NC）或双作用。除了这些标准选项外，还可以进行进一步定制。

特点:

1、丰富的设计选项

2、抗高压差

3、免长周期维护

4、大口径中的出色的可靠性

5、成本低

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