半导体设备仪器赋能科研教学发展论坛议程

CSEAC以“专业化、产业化国际化”为宗旨，是我国半导体设备与核心部件及材料领域最具知名度的年度性展会，集“技术交流、展览展示、产品发布、经贸洽谈、国际合作及市场拓展”于一体的产业盛宴。CSEAC 2025 同期论坛20+，预计带来行业报告200+，大咖云集，释放“芯”声，引领变革。

半导体设备仪器赋能科研教学发展论坛

时间：2025年9月4日 13:30-17:00

地点：无锡太湖国际博览中心A5馆

精密的检测与量测仪器在半导体科研教学与人才培养中有着举足轻重的作用。本论坛聚焦解析尖端精密设备在产学研中的创新应用范式。半导体制造作为先进制造技术，在微观世界中获取准确的数据及形貌特征，不仅对科研生产极为重要，尤其在教学中，更能形象表征半导体的特性，是研究过程中“分析与发现”必不可少的装置。

本论坛主席——林楠，

北京航空航天大学蓝天杰出教授，兼任中国科学院上海光学精密机械研究所研究员、超强激光科学与技术全国重点实验室副主任。入选国家海外高层次人才，上海市白玉兰人才，欧盟玛丽居里学者。曾任荷兰ASML公司研发科学家、研发部光源技术负责人，长期从事集成电路制造光刻光源以及芯片量检测光源研发与工程应用研究，拥有十余年大规模集成电路制造与测量设备科研、工程项目研发和管理经验, 截止目前授权/公开国际专利120余项。

会议议程

分论坛主席：林楠

Chair of the Sub-forum：Nan Lin

北京航空航天大学蓝天杰出教授

Professor, Beihang University

13:30-13:55

王新河 北京航空航天大学集成电路学院副院长

Xinhe Wang, Deputy Dean, School of Integrated Circuits, Beihang University

面向集成电路原子级制造的工艺检测与装备控制

Real-Time Monitoring and Control Technologies for Atomic-Scale Manufacturing of Integrated Circuits

13:55-14:20

吉亮亮 中国科学院上海光学精密机械研究所研究员

Liangliang Ji, Research Scientist of Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences

强场激光物理与应用探讨

Strong-field Laser Physics and Applications

14:20-14:45

詹求强 华南师范大学教授

Qiuqiang Zhan，Professor of South China Normal University

低能耗高非线性荧光超分辨显微术

Low-energy,highly nonlinear fluorescence super-resolution microscopy

14:45-15:10

曹子峥 博士 浙江大学集成电路学院 长聘教授 求是特聘教授

Dr. Cao Zizheng, a tenured professor/Qiushi Distinguished Professor at College of Integrated Circuits, Zhejiang University

面向算力网应用的晶圆级光子集成光刻技术

Photolithography in wafer-scale photonic integration in the context of compute first networking

15:10-15:35

丁晨阳 博士 复旦大学研究员

Dr. Chenyang Ding, Professor of Fudan University

光刻和量检测装备的动力学与运动控制

Dynamics and control of lithographic and metrology tools

15:35-16:00

刘杨 哈尔滨工业大学教授

LIU YANG, Professor and PhD Supervisor at Harbin Institute of Technology

超精密运动系统的探索与实践

Exploration and practice of ultra-precision motion systems

16:00-16:25

徐建明 中山大学集成电路学院副院长

Jianming Xu, Vice Dean  of the School of Integrated Circuits at Sun Yat-sen University

中山大学集成电路学院实践教学体系建设

Construction of Practical Teaching System in School of Integrated Circuits, Sun Yat-sen University

16:25-17:00  圆桌对话（嘉宾按姓氏笔画排序）

林楠 北京航空航天大学蓝天杰出教授

Nan Lin, Professor of Beihang University

圆桌嘉宾：

丁晨阳 博士 复旦大学研究员

Dr. Chenyang Ding, Professor of Fudan University

王新河 北京航空航天大学集成电路科学与工程学院副院长

Xinhe Wang, Deputy Dean, School of Integrated Circuits, Beihang University

李璟 浙江大学教授

Jing Li, Professor of Zhejiang University

刘杨 哈尔滨工业大学教授，博士生导师

LIU YANG, Professor and Doctoral Supervisor at Harbin Institute of Technology

徐建明 中山大学集成电路学院副院长

Jianming Xu, Vice Dean of the School of Integrated Circuits at Sun Yat-sen University

*最终议程以现场实际为准

提前预登记 抽惊喜好礼

△ 请扫上方二维码，立刻报名 △

礼品：京东卡、蓝牙耳机、Apple Watch、华为平板电脑

即日起，已报名观众参与抽奖规则如下：

转发: 朋友圈所有人可见 / 5个以上行业社群

抽奖: 共两轮，越早报名中奖率越高

领奖: 凭有效转发页，现场二楼礼品处

咨询: avian.zhang@cseac.org.cn

*报名活动最终解释权归CSEAC组委会所有

CSEAC 2025 同期论坛

9月4日
09:00-11:00	中国电子专用设备工业协会会员大会
09:00-11:00	中国电子专用设备工业协会第十届一次理事会
09:30-12:00	无锡创新发展大会开幕式
14:00-17:00	2025年中国电子专用设备工业协会半导体设备年会
09:30-17:00	半导体制造与设备及核心部件董事长论坛
09:30-12:00	制造工艺与半导体设备产业链联动发展论坛(上)
13:30-17:00	半导体制造与材料董事长论坛
09:30-17:00	智感芯未来—半导体设备高精传感技术协同创新发展论坛
13:30-17:00	半导体设备仪器赋能科研教学发展论坛
09:30-17:00	功率及化合物半导体产业发展论坛
09:00-17:00	全球半导体产业链合作论坛
09:30-17:00	半导体设备与核心部件配套新进展论坛
09:00-17:00	CSEAC 2025风米IC精英大讲堂
18:00-20:00	大会欢迎晚宴
9月5日
09:30-12:00	CIPA 2025：第十七届集成电路封测产业链创新发展论坛暨长三角集成电路先进封装发展大会
13:30-16:50	CIPA 2025：第十二届华进开放日
09:30-12:00	制造工艺与半导体设备产业链联动发展论坛(下)
09:30-16:25	光电合封 CPO 及异质异构集成技术创新大会
09:30-17:00	光芯片产业链协同发展论坛
09:30-17:00	新器件新工艺推动新材料新设备创新发展论坛
09:30-17:00	半导体封测先进工艺与配套产业链融通发展论坛
09:30-11:50	半导体量测与测试装备创新发展论坛
13:30-17:00	半导体设备与核心部件投融资论坛
13:30-17:00	绿色厂务与ESG发展论坛
9月6日
09:30-12:00	太阳能电池片制造装备现状和发展趋势

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